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濾光片鍍膜工藝常用清洗方法-超聲波清洗法

在探測器制造加工工藝中,很多都涉及清洗技術(shù),如芯片制作期間的基片清洗,外延生長片的清洗,鍍膜加工前基片的清洗,以及濾光片等光學(xué)元件加工的清洗等。隨著科技的發(fā)展,半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)對(duì)清潔度的要求越來越高。也不斷有復(fù)雜的新洗凈系統(tǒng)和設(shè)備投入使用。在光學(xué)儀器、精密機(jī)械以及電子機(jī)械領(lǐng)域也越來越多地需要精密工業(yè)清洗。無論是半導(dǎo)體薄膜的生長還是基于半導(dǎo)體薄膜的器件制備,襯底的清洗和處理是必不可少的一個(gè)環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體襯底片是外延生長以及后續(xù)工藝的基礎(chǔ),襯底制備包括清潔處理等工藝,它的好壞直接影響外延和后續(xù)工藝,襯底成為光電子器件工藝的出發(fā)點(diǎn),襯底的清洗分為化學(xué)清洗和物理清洗。不同的基底材料其清洗方法和流程各不相同,相同的材料應(yīng)用領(lǐng)域不一樣,對(duì)清潔的要求不同,清洗方法也不盡相同,即使是同種材料的同種用途,清洗方法也有各異。

對(duì)于鍍膜元件來說,基底清潔程度是影響鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量好壞的關(guān)鍵因素之一,保障元件鍍膜前表面高潔凈度,降低薄膜內(nèi)的雜質(zhì)污染物,鍍膜前元件的潔凈清洗至關(guān)重要。基片進(jìn)入鍍膜室前,不管鍍層要求如何,均應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真的鍍前處理(即清洗處理),以達(dá)到去油、去污和脫水的目的,是提高膜層牢固度的重要措施。

濾光片鍍膜工藝常用清洗方法-超聲波清洗法

超聲波清洗的主要作用機(jī)理是超聲空化作用、超聲空化二階效應(yīng)產(chǎn)生的微聲流的洗刷作用,以及超聲空化在固體和液體界面所產(chǎn)生的高速微射流的沖擊作用,促進(jìn)洗液的化學(xué)物理反應(yīng)效果,從而除去污染物的一種有效的清洗方法,是一種高速、高質(zhì)量、易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化的清洗技術(shù)。濾光片真空鍍膜加工對(duì)基底表面清潔度要求較高,超聲波清洗技術(shù)是使基底表面能達(dá)到鍍膜所需清潔度要求的最為理想的技術(shù)之一。與其他清洗方法相比,超聲波清洗具有洗凈率高、殘留物少、清洗時(shí)間短、清洗效果好等優(yōu)點(diǎn)。為了達(dá)到更好的超聲清洗效果,根據(jù)污染物種類的不同,需選擇合適的超聲頻率和不同的清洗介質(zhì)。濾光片基底在鍍膜前的超聲清洗選擇的頻率多在(20~80)kHz范圍的超聲,對(duì)于超聲清洗介質(zhì),可以按以下準(zhǔn)則選取,表面張力小,對(duì)超聲波衰減小,對(duì)油脂的溶解能力大,無害物質(zhì),選擇去離子水、中性清洗劑、異丙醇、丙酮等。鍍膜前濾光片超聲波清洗過程中,為達(dá)到更好的清洗效果,常對(duì)媒介進(jìn)行一定程度的升溫。

在光學(xué)濾光片鍍膜前的清洗過程中,多采用某種清洗劑等化學(xué)試劑進(jìn)行擦拭、超聲波清洗和汽相清洗等方法,以滿足濾光片基底鍍膜前的清潔要求。綠色高效低成本的清洗技術(shù)是一種趨勢,也是整個(gè)清洗行業(yè)的一個(gè)趨勢。

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